STK-5120
半自動ウェハフィルムリムーバー
特徴です
卓上型 / 8 インチ、12 インチウェハ用 / 簡単操作
ウェハの厚さ：150～750 um
テープ剥離方式：テープによる剥離
テープ剥離角度：45 度未満で、5°～45° に調節可能
ウェハ用の台盤：汎用（一体型）テフロン静電気防止コーティング接触式台盤
台盤加熱可能：室温～100℃
取り扱い方式：ウェハを手動で置きと取り出し
ウエハー位置決め：エア駆動Pin Stopper
コントロールユニット：PLC制御用7インチタッチパネル
安全保護：緊急停止ボタンをあり
体積：670 mm（幅）×1180mm（奥行き）×1000 mm（ライト含む高さ）
本体重量：130kg